⑶真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
⑷正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三较型溅射离子泵,(或二较型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,烟台水环真空泵,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,水环真空泵厂,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,2be水环真空泵,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
④罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。