工作原理:真空泵较主要由真空泵体、转子、旋片、端盖和弹簧等组合而成。在2X旋片真空泵的泵腔内安装转子,转子的外圆和真空泵腔内表面相切,转子槽内装有带弹簧的二个旋 片,将定子分成高、低级两个工作腔,旋转时,真空泵靠离心力和弹簧的张力使旋片**部与真空泵腔的内壁保持亲密接触,而转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动, 使得高级工作腔容积周期性扩大而吸气,液环罗茨真空机组,低级工作腔容积周期性缩小而压缩气体,借助气体和油的压力推开排气阀排气,从而进一步地获得真空。当吸入压力较高 时,气体在高级腔内被压缩,旋片罗茨真空机组,压力剧增,则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀排出,另一部分气体经压缩后通过中壁内的通道进入低级腔,再次压缩后从低级 排气阀排出,此时高低级腔同时排气;当吸入压强较低时,气体由吸气口进入高级腔内,罗茨真空机组,而气体在高级腔内压缩所产生的压力不足以推开辅助排气阀而直接通过级间 通道进入低级工作腔,再次压缩后从低级排气阀排出。
罗茨泵-水环泵-大气泵机组
即使采用双级水环泵,极限真空度的提高也只是在一定的范围之内,这是因为受到水的饱和蒸汽压的限制。水环泵的理论极限压力就是水的饱和蒸汽压。如果考虑气体返流等因素的影响,实际上水环泵的极限压力显著比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为了提高前级泵的极限真空度,水环罗茨真空机组,还可以使水环泵与大气泵组合使用。这样,串联一级大气泵后的极限真空度可达20~30Torr,如果水环泵与二级大气泵组合,则极限真空可达2~10Torr。